포항가속기연구소(소장 고인수)의 ‘LIGA 공정 실습교육’이 지난 7일 X-선 나노/마이크로머시닝 빔라인에서 열렸다. 이 행사는 과학기술부가 후원하고 한국방사광이용자협회(회장 이순보)가 주관했다.
대학·연구소·기업체의 LIGA 분야 연구자 8명이 참가한 이번 교육은 △가속기 및 이용방법 소개 △LIGA 기술 개요 △반도체 공정 응용 △X-선 공정 등에 대한 이론부터 제작실습까지 전 공정의 현장교육으로 진행되었다.
‘LIGA’란 방사광가속기에서 발생되는 강한 세기의 X-선을 이용하여 마이크로 구조물 및 정밀소자·나노구조물 등을 가공하는 차세대 첨단기술을 말한다. 포항가속기연구소는 앞으로 연 3회 이 교육을 계속 실시할 예정이다.