이번 계약을 통해 방사광가속기연구소의 빔라인부 지원팀장 나승유 박사가 빔라인의 설계 및 개조을 맡고 한양대에서는 건설비용 5억 7천만원을 부담하게 되었으며, 노광빔라인은 2005년 8월 완공될 계획이다. 보통 신규 빔라인의 건설에는 통상 20억~50억원 정도의 비용이 필요하지만, 이번 시공은 기존의 빔라인을 개조해 활용하는 방식이기 때문에 그보다 적은 비용이 소요되게 되었다. 또, 노광빔라인 완공이후에는 한양대가 운영시간의 50%를 사용하게 되고 나머지는 일반사용자가 관련 연구를 수행할 수 있도록 개방된다.
극자외선 노광빔라인은 반도체의 집적도를 향상시키기 위한 핵심기술로 한양대에서는 64기가비트 D램 이상의 차세대 나노급 반도체의 생산공정연구를 위해 사용하게 된다. 또 극미세 패턴이 필요한 나노기술 및 생명공학기술에도 크게 활용될 것으로 기대되고 있다.
한편, 이번 계약을 통해 우리나라에서도 차세대 반도체 개발 연구를 본격적으로 시작하게 되었다. 이는 97~98년경부터 컨소시움을 구성하는 등의 노력을 기울여 온 미국이나 유럽등의 사례에 비해 다소 늦은 감이 있는 것으로, 우리나라에서는 자체 실현 가능한 일부 기술을 개발하는 방향으로 연구가 이루어질 계획이다.
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