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우리대학 김준원(기계) 교수, 유동우(기계 통합) 씨 연구팀이 자외선 경화형 필름을 이용해 무용매 포토리소그래피 기술을 개발했다. 이는 유연하고 투명해 광전자 소자나 플렉시블 전자 기기의 소재로 각광받고 있는 은 나노와이어를 원하는 형태로 손쉽게 식각하는 기술이다.기존 기술은 복잡한 공정 과정과 다양한 용매를 사용해야 하는 문제점으로 인해 적용이 어려웠다. 본 연구에서는 자외선을 만나면 경화되는 UV 경화형 필름을 사용해 △포토레지스트 △현상액 △식각액 없이 무용매로 기존의 공정을 크게 단순화했다. 자외선과 포토마스크로 식각된 필름을 은 나노와이어가 도포된 기판에 부착하고 추가적인 자외선을 조사한 뒤 떼어 내면 원하는 패턴으로 만들어진다. 독성 용매의 사용이 없어 친환경적이고, 은 나노와이어의 간격을 미세하게 조정하거나 가장자리를 매끄럽게 처리해 전극 식각 품질을 높일 수 있다는 장점도 있다. 연구 성과는 재료과학 분야의 국제학술지인 Small Methods에 게재됐다.김 교수는 “해당 기술을 확장하면 다양한 광전자 소자 및 플렉시블 전자 기기 개발에 실질적인 도움이 될 수 있을 것으로 생각한다”라며 기대감을 보였다.

단신보도 | 박준우 | 2022-03-27 21:54