분자나 원자 수준의 나노과학 및 원자조작, 초미세 표면분석 등에 필요한 극고진공(XHV)환경을 만들어 낼 수 있는 이온펌프가 정석민 교수팀에 의해 개발되었다.

정석민 교수팀은 과학기술부 중점국가연구개발사업의 지원으로 브이엠티(대표 김진곤)와 공동으로 10-11Torr(대기압=760Torr) 이하 극고진공용 이온펌프를 국산화하는데 성공했다고 지난 3일 밝혔다.

이온펌프는 진공 용기 내부의 기체 분자를 이온화해 티타늄이나 탄탈룸 등 펌프 내부에 장착된 활성도가 높은 물질에 흡착시킴으로써 배기 작용을 하는 장치다. 기체 분자를 이온화하는 특성에 의해 물분자나 산소ㆍ수소 등의 활성 기체는 물론 메탈이나 아르곤 불활성 기체도 배기가 가능하다.

극고진공펌프를 개발하는 데에는 펌프자체의 가스방출을 어떻게 줄이느냐가 관건이다. 이번에 개발된 펌프는 내면에 1nm 두께의 크롬산화막을 입혀 펌프 자체의 진공도를 한단계 높여 고도의 청정도가 요구되는 가속기나 표면분석, 나노과학 등에 널리 쓰일 수 있다.

이번 극고진공 이론펌프의 개발에 따라 그동안 외국의 선진 업체로부터 수입해 오던 극고진공 이온펌프를 국산으로 대체할 수 있을 것으로 연구팀은 전망하고 있다.

한편, 이 장비를 함께 개발한 브이엠티는 오는 7월부터 제품을 양산, 수입대체는 물론 미국ㆍ일본 등 해외시장 개척에도 나설 예정이다.