신소재공학과 박사과정 홍영준(지도교수 이규철) 씨가 기존 공정을 활용하면서도 3차원 나노소자의 집적화를 위한 기술을 개발해 국제학술대회에서 ‘젊은 과학자상’을 수상했다.
홍 씨는 3차원 나노집적소자에 응용가능하리라 기대되는 반도체 나노막대를 실리콘 기판의 ‘원하는 위치’에 ‘수직으로’ 선택성장할 수 있는 기술과 원리를 개발, 최근 프랑스 스트라스부르에서 열린 2007 유럽재료공학연구학회(E-MRS) 춘계 세미나에서 발표했다.

홍 씨는 이 자리에서 ‘질화갈륨 마이크로패턴을 이용한 실리콘 기판에서의 비촉매 산화아연 나노막대의 위치조절 선택성장’이란 논문을 통해 나노막대를 질화갈륨 마이크로패턴을 이용해 실리콘 기판에 원하는 위치로 선택 성장하는 기술을 공개했다. “이 기술은 대량 제작 공정에도 적용할 수 있어 3차원 나노소자의 집적화에 도움이 되며, 소자의 집적도를 크게 높일 수 있어 하나의 칩에 더 많은 소자를 넣을 수 있을 것”이라고 홍 씨는 설명했다.

전 세계적으로 이 기술을 가지고 있는 연구그룹이 두세 그룹에 불과하고, 특히 실리콘 기판 위에 성장시킨 사례는 거의 없었다. 촉매를 사용하지 않는 ‘비촉매 유기금속 화학기상증착법’을 이용, 순도가 높고 광학적 특성이 매우 우수한 ‘단결정 산화아연 나노막대’를 실리콘 기판 위에 원하는 위치에 수직 성장시킴으로써 우수한 품질의 반도체 소자를 3차원으로 제조할 수 있는 기술을 개발했다는데 의의가 있다.

유럽재료공학연구학회 세미나는 2,000여명의 관련 학자들이 참석해 700명 이상이 논문을 발표하는 행사로, 홍 씨가 수상한 ‘젊은 과학자 상’은 18개 분과에서 발표된 논문 중 가장 우수한 논문을 발표한 18명에게 수여된다.