값싸고 더 작은 나노구조물 제작기술 개발
값싸고 더 작은 나노구조물 제작기술 개발
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  • 승인 2008.02.13 00:00
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신소재 김형준 교수팀…원자층 증착기술 이용
반도체 소자를 제작하는데 있어 필수적인 고가의 패터닝(Patterning : 표면에 원하는 형상을 만드는 방법) 공정을 거치지 않고 값싸고 더 작은 나노 크기의 나노구조물을 제작할 수 있는 기술이 개발되었다.
BK21 지식산업형소재시스템사업단(신소재공학과) 김형준 교수와 박사과정 김우희 씨 연구팀은 알루미늄 박막에 자기조립 기술을 적용하여 균일한 나노크기 구멍을 가진 자기조립 나노틀(nanotem plate)을 만든 후 “첨단 박막 기술인 원자층 증착을 이용하여 고가의 패터닝 과정을 거치지 않고도 균일도와 정렬도가 우수한 나노구조물을 얻을 수 있는 기술을 개발했다”고 밝혔다.

영국 물리학회(IOP)가 발간하는 ‘나노테크놀로지’ 지난달 30일자 표지논문으로 발표된 이 기술은 나노막대·나노점 등 다양한 형태로 제작할 수 있어서 나노 구조물의 대면적 제조공정 개발 가능성을 연 것으로 평가받고 있다. 또 이 기술은 최근 소재 분야에서 크게 각광을 받고 있는 나노 융합공정의 일환으로 나노센서·나노메모리소자 등 다양한 나노전자소자 제작에 활용될 수 있을 것으로 전망된다.
연구팀은 알루미늄을 양극산화(전기화학적 방법을 이용해 산화하는 방법)시킬 때 일어나는 자기 정렬(self-align) 과정을 통해 균등하게 정렬되어 있는 균일한 나노크기의 구멍을 만든 후 이를 ‘자기조립 나노틀’로 제작했으며, 이 틀에 원자층증착법(Atomic Layer Deposition)을 이용해 나노 구조물을 얻었다.

연구팀은 이 틀을 활용해 만든 루테늄 나노막대에서 전기적 특성을 측정함으로써 향후 전자소자로 응용할 수 있는 가능성을 입증했다. 연구팀은 “나노 구조물 제작에서 필수적으로 생각됐던 고가의 패터닝 과정을 생략함으로써 기존보다 생산비용을 절감하고 기존 패터닝 과정의 한계를 극복할 수 있게 되었다”며 “국내 기술이 상대적으로 강한 원자층 공정의 응용분야를 나노기술 분야로 확대했다는 점이 주목할 만하다”고 밝혔다.

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